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子定数の精密測定、結晶の対称性（点群、空間群）の決定、格子欠陥の同定ができる。 田中通義、寺内正己、津田健治『やさしい電子回折と初等結晶学―電子回折図形の指数付け，収束電子回折の使い方―』（改訂新版）共立出版、2014年12月23日、78頁。ASIN 4320034716。ISBN 978-4-320-03471-6。
エネルギーを強めることができる。この溝の角度を制御した回折格子をブレーズド回折格子という。 回折格子を身近なもので作ろうと思えば、だいたい1mm以下の周期でガラス板に溝を平行に刻んだり、透明シートに黒い線を印刷したりすれば可視光用の回折格子として機能し得る。 機械刻線 機械的にダイヤモンドカッターなどで溝を刻線する方法。
〔diffraction〕
低速電子線回折（ていそくでんしせんかいせつ、英: low-energy electron diffraction、LEED）は電子回折法の一種であり、電子を試料に照射し、それが回折される様子を観察することで、固体の表面構造を解析する技術である。利用される電子のエネルギーが低い（20 - 200
エシェル回折格子（エシェルかいせつこうし、英: echelle grating）は、ブレーズド回折格子の一種である。溝の数が少なく、高次の回折光を利用するよう溝の形が工夫されている。エシェルはフランス語で階段を意味すéchelleより。 通常の回折格子では、1次または2次のような低次の回折光を用いる
ブレーズ波長」に対して格子が最適化されるか（刻まれる〔blazed〕か）が特定される。最大効率が得られる方向は「ブレーズ角」と呼ばれ、ブレーズド格子の3番目に重要な特徴であり、ブレーズ波長と回折次数に直接的に依存する。 全ての光回折格子の様に、ブレーズド回折格子は一定の線間隔 d
ホログラフィック回折格子は機械刻線回折格子よりも少ない散乱光を示す。溝が正弦波の形状をしていることにより、ホログラフィック回折格子は容易にブレーズド回折格子にすることはできず、その効率は同等の機械刻線回折格子よりもかなり低い。しかしながら、波長に対する周期の比が1
視野絞りはTEMカラムのサンプルホルダーの下に位置し、ビーム経路に挿入することでビームを遮断する。金属の薄い板に異なる大きさの穴が開いており、ユーザーによって動かすことができる。穴を透過する一部の電子ビーム以外は全て遮断される。調べたいサンプルの位置に絞り
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