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走査型顕微鏡（そうさがたけんびきょう）とは機械的、電子的な走査の機構を備えた顕微鏡の総称。 光学顕微鏡の場合、回折限界以下に集束して走査することで分解能を高める事が可能。走査方法は試料のステージを機械的に移動して走査する方法や電子線を曲げることで走査する方法がある。 走査型電子顕微鏡 走査型トンネル顕微鏡
走査型電子顕微鏡（そうさがたでんしけんびきょう、英語: scanning electron microscope、SEM）は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子（後方散乱電子、BSE）、透過電子
この際に、スペクトロスコピー測定のために10nm以下のサイズの電極で試料を挟む方法が問題となった。上部の電極を金属針にすれば面積の問題は解決するが、接触によって試料が破壊してしまう。ビニッヒは非接触で測定できるトンネル効果を利用することを思いつき、金属針を数Åの距離まで近づけてることで局所スペクトロスコピーの測定に成功した。彼らは当初その空間分解能を4
走査型プローブ顕微鏡 (そうさがたプローブけんびきょう、Scanning Probe Microscope; SPM) は、プローブを用いた顕微鏡観察手法の総称である。先端を尖らせた探針を用いて、物質の表面をなぞるように動かして表面状態を拡大観察する。実際の例としては、表面を観察する際、微少な電流
可能となれば、空間分解能は50nm程度となり、ナノメ－タ－級の磁気顕微鏡が実現する。SQUIDに探針を組み合わせた磁気顕微鏡の空間分解能は、探針の先端と試料がサブmm離れていたのでサブmmが限界だった。 走査時に、走査型トンネル顕微鏡(STM)のように試料の凹凸に応じてZ方向にも試料を動かすことがで
共焦点顕微鏡光学系となっている。共焦点光学系では、面内分解能が向上するだけでなく、焦点深度が浅くなり奥行き分解能も向上する。そのため、試料または対物レンズを3次元的に動かすことにより試料の深さ方向の情報を得て、コンピュータにより3次元像を構成することができる。 共焦点レーザー顕微鏡 光学顕微鏡
わず、大気中で非破壊的に観測を行うことが可能である。 欠点 走査するためリアルタイムでの観察が行えない。走査型トンネル顕微鏡（STM）程の分解能は期待できない。 1928年、イギリスの科学者 Synge により狭い開口部により光の回折限界を越える顕微鏡のアイデアが考案されていたが、技術的困難さのた
Annular Dark Field, HAADF)である。物質によって高角度に散乱される電子は主に、熱散漫散乱によるものであり、環状検出器では干渉性の低い散乱電子が支配的に検出される。したがって、HAADF-STEM像のコントラストは主に、試料の厚さと構成原子の原子番号
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