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〖epitaxy〗
気体からなる相。 気体状態にある相。
MBE装置は下記のような要素から構成される。用途や原料によって詳細は異なる。 原料供給機構 製膜用真空チャンバー 試料交換用チャンバー 超高真空排気機構（真空ポンプ類および残留ガス吸着機構（液体窒素シュラウドなど）） 真空計 分子線量のモニタリング機構 試料のモニタリング機構 MBE法が他の真空蒸着法と異なるのは、求められ
〔中世までは「こもこも」〕
君主をたすけて政治を行う職。 大臣。 宰相(サイシヨウ)。
(1)外に現れた姿・形・ありさま。 外見。
〔「あい（合）」と同源〕
化学気相堆積（CVD: chemical vapor deposition）法は、さまざまな物質の薄膜を形成する堆積法のひとつで、石英などで出来た反応管内で加熱した基板物質上に、目的とする薄膜の成分を含む原料ガスを供給し、基板表面あるいは気相での化学反応により膜を堆積する方法である。常圧（大気圧）
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