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分離、吸着分離、膜分離の順に高い。 深冷分離法 空気を極低温（一般に-170℃以下）まで冷却し、液化させ蒸留により分離する方法。 酸素・窒素・アルゴンなど、空気中の組成物のほぼ全てを高純度で得ることができる。一方、極低温
真空計 - 真空計は真空容器の圧力を測定する全圧真空系と真空容器の気体の成分を測定する分圧真空計がある。 真空を利用した装置は多岐にわたる。 真空冶金装置とは冶金を真空中で行うことである。真空中で冶金を行うことには以下のメリットがある。 純度の向上：真空
(1)ある目的に合わせて設備・機械・仕掛けなどを備えつけること。 また， その設備・機械など。
(1)導き入れること。
磁気ディスク装置とは、ハードディスクドライブを内蔵または、磁気ディスクパックを扱う補助記憶装置を指す。 装置内には、制御ボード、電源装置、インターフェースなどが組み込まれている。 ハードディスクを記憶部とし、制御ボード、電源装置、インターフェースなどが組み込まれている。
空気入れ（くうきいれ）は、一般には人力で操作する手動式（あるいは足踏み式）の空気充填機。自転車等のタイヤやボール等に空気を入れる際に用いる。「空気ポンプ」ともいう（ポンプであるが気体の移送ではなく圧縮・充填に用いる）。 なお、ボンベに入れたガスを使う空気充填機はインフレータ（英:
印刷電信機の送信部、タイプライターの操作部、テレタイプ端末の操作部、コンピュータのタイプライター状の文字入力装置などとして使用される。 1850年代にDavid Edward HughesとGeorge May Phelpsが実用化した印刷電信機
半導体製造装置（はんどうたいせいぞうそうち）とは半導体の製造に使用される装置。 半導体製造装置は半導体の製造のために使用される装置で年々微細化が進むため対応できるかどうかが競争力に直結する。特に縮小投影型露光装置(ステッパー)は微細化の要であり、製造ラインは露光装置
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