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ラザフォード後方散乱分光（ラザフォードこうほうさんらんぶんこう、英語: Rutherford backscattering spectrometry、RBS)とは、物質に高速のイオンを照射し、後方散乱したイオンのエネルギーと個数を測定することで元素分析をする表面分析手法。
(1)ばらばらに散ること。 ちらばること。
ラザフォード（Rutherford）は、英語圏の姓、男性名。 姓 アーネスト・ラザフォード - ニュージーランド出身のイギリスで活躍した物理学者、化学者。 ジョセフ・フランクリン・ラザフォード - ものみの塔聖書冊子協会の第2代会長。 ダニエル・ラザフォード - スコットランドの化学者、物理学者。窒素の発見者。
散漫散乱（英: diffuse scattering）とは、物質の構造のゆらぎによる電子線、X線、中性子線のぼやけた散乱・回折のこと。 ブラッグ反射は規則正しく配列した物質によって起こり、スポット状の鋭い散乱を与える。それとは対照的に、散漫散乱は配列に何らかの不規則性（ゆらぎや乱れ）があると生じる。
ブリルアン散乱（ブリルアンさんらん、ブリリュアン散乱、ブリュアン散乱とも）とは、光が物質中で音波と相互作用し、振動数がわずかにずれて散乱される現象のことである。名称はレオン・ブリルアンに由来する。 この散乱は水や結晶などの媒質中で光が密度変化と相互作用することによって生じる。この際、光の経路とエネルギー
光の弾性散乱には分極率の平均値が寄与し、これをレイリー散乱という。一方、光の非弾性散乱には分極率のゆらぎが寄与し、これをラマン散乱という。 微粒子による散乱 レイリー散乱（光の波長よりも小さい粒子による弾性散乱） ミー散乱（光の波長よりも大きい粒子による散乱） 電子による散乱 トムソン散乱（電子による長波長光の弾性散乱）
レイリー散乱（レイリーさんらん、英: Rayleigh scattering）とは、光の波長よりも小さいサイズの粒子による光の散乱である。透明な液体や固体中でも起きるが、典型的な現象は気体中の散乱であり、日中の空が青く見えるのは、レイリー散乱の周波数特性によるものである。レイリー散乱
この場合、負の誘電率、もしくは透磁率は、介在物の共鳴ミー散乱時に現れるように設計される。 負の実効誘電率は電気双極子散乱係数の共鳴時に、負の実効透磁率は磁気双極子散乱係数の共鳴時に合わせて設計され、DNG（誘電率、透磁率ともに負の）媒質はこの両方に合わせて設計される。粒子は通常、以下の組み合わせを有する。
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